简介： 本发明涉及一种MEMS可靠性评估方法，上述MEMS可靠性评估方法，包括如下步骤：获取MEMS的悬臂梁失效率、芯片失效率以及封装失效率；对MEMS内的元器件进行测量，获取所述MEMS的振动系数、温度系数、温度幅值系数、循环率系数；根据所述悬臂梁失效率、芯片失效率、封装失效率、振动系数、温度系数、温度幅值系数、循环率系数代入设定的评估模型获取MEMS的可靠性。本发明提供的MEMS可靠性评估方法，通过获取MEMS的悬臂梁失效率、芯片失效率以及封装失效率；并对MEMS内的元器件进行测量，获取所述MEMS的振动系数、温度系数、温度幅值系数、循环率系数，进一步评估MEMS的可靠性，使MEMS可靠性的评估无需经过通过大量试验，可以有效提高评估的效率。