简介： 微电子器件可靠性快速评价方法，属于微电子技 术领域。本发明的步骤为：1)先测量出微电子器件焦耳热温升； 2)测量该微电子器件的失效敏感参数P在选定温度范围内分别 在不加和加电应力条件下随温度Tj变化的数据，并分别绘制曲线且拟合成直线；3)取3组微电子器件，在三种不同电应力的条件下，进行温度斜坡试验，得到每组微电子器件的平均失效激活能、平均失效时间、平均失效温度范围；4)计算出公式： 中的系数A、m、n；5)计算失效敏感参数P所承受的电热应力的能量；6)计算微电子器件在V、j和Tj分别为正常工作条件下的数值时的寿命τ。本发明可使试验周期缩短、所需试验样品少，大大降低了成本，同时能够给出单样品的寿命。