基于抗过载结构的防异物防破损压力传感器
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基于抗过载结构的防异物防破损压力传感器
来源:北方有色网
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简介: 本实用新型提供一种基于抗过载结构的防异物防破损压力传感器,它包括敏感膜以及位于所述敏感膜上的应变电阻和电极,所述电极连接所述应变电阻的输出端,以传输检测信号,还包括位于所述敏感膜下方的硅衬底,以及位于所述敏感膜上方的保护盖;所述硅衬底开设凹槽,所述凹槽底部设置有第一防粘连结构;所述保护盖均匀开设若干第一进气孔,用于防止所述敏感膜局部形变异常。本实用新型通过增设第一防粘连结构和第二防粘连结构,形成双臂防粘连结构,有效防止压力传感器敏感膜因超高过载导致的损坏、破裂、过度形变等失效;所述保护盖均匀布设的第一进气孔能够调节气流走向,使之均匀进入检测腔体内,保证敏感膜的形变均匀性和受力平衡。
本实用新型提供一种基于抗过载结构的防异物防破损压力传感器,它包括敏感膜以及位于所述敏感膜上的应变电阻和电极,所述电极连接所述应变电阻的输出端,以传输检测信号,还包括位于所述敏感膜下方的硅衬底,以及位于所述敏感膜上方的保护盖;所述硅衬底开设凹槽,所述凹槽底部设置有第一防粘连结构;所述保护盖均匀开设若干第一进气孔,用于防止所述敏感膜局部形变异常。本实用新型通过增设第一防粘连结构和第二防粘连结构,形成双臂防粘连结构,有效防止压力传感器敏感膜因超高过载导致的损坏、破裂、过度形变等失效;所述保护盖均匀布设的第一进气孔能够调节气流走向,使之均匀进入检测腔体内,保证敏感膜的形变均匀性和受力平衡。
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