带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪
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带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及高冲击信号检测技术领域,特别涉及一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪,包括有主控模块、电源模块、信号处理电路、信号调理电路和存储模块,所述弹载记录仪还包括有三向冲击传感器,所述三向冲击传感器包括有晶圆衬底和三个检测冲击加速度的敏感元件,每个敏感元件均包括有若干个长条状的硅梁和两个并列且在同一平面的质量块,所述晶圆衬底设置有若干个用于容纳质量块的方形槽,所有能够与同一个质量块抵触配合的硅梁上均设置有应变电阻,所有应变电阻均电性连接有引脚,本发明大大锁紧弹载记录仪的体积,解决了采集模式单一的问题,解决测试准确性不高的问题。能够降低检测失效的可能性。
本发明涉及高冲击信号检测技术领域,特别涉及一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪,包括有主控模块、电源模块、信号处理电路、信号调理电路和存储模块,所述弹载记录仪还包括有三向冲击传感器,所述三向冲击传感器包括有晶圆衬底和三个检测冲击加速度的敏感元件,每个敏感元件均包括有若干个长条状的硅梁和两个并列且在同一平面的质量块,所述晶圆衬底设置有若干个用于容纳质量块的方形槽,所有能够与同一个质量块抵触配合的硅梁上均设置有应变电阻,所有应变电阻均电性连接有引脚,本发明大大锁紧弹载记录仪的体积,解决了采集模式单一的问题,解决测试准确性不高的问题。能够降低检测失效的可能性。
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