简介： 本发明涉及一种用于晶圆外延处理的自动化设备及其操作方法，包括外轮廓检测台、晶圆反应台和第一机械手，所述的外轮廓检测台右侧安装有晶圆反应台，晶圆反应台上端转动安装有转台，所述的外轮廓检测台上转动安装有与转台对应的第二机械手，所述的外轮廓检测台和晶圆反应台的上端安装有密封罩，所述的密封罩左端安装有与密封罩连通的置换腔平台。本发明有效降低晶圆的膜厚和电阻率波动、解决晶圆因在支撑器上位置偏差过大导致产品失效等问题。