简介： 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种过滤装置。所述过滤装置包括输入管道、输出管道以及设置于所述输入管道与所述输出管道之间的过滤器，还包括检测组件；所述检测组件包括均设置于所述过滤器与所述输出管道之间的第一阀门和第二阀门；所述第二阀门用于对经所述过滤器过滤的清洗液进行取样，以判断所述过滤器是否失效；所述第一阀门用于在确认所述过滤器失效后隔绝所述过滤器与所述输出管道。本实用新型实现了对过滤装置中失效过滤器的有效检出，并降低了对所述过滤装置的维护成本。