配合光学显微镜使用的标记笔新设计
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配合光学显微镜使用的标记笔新设计
来源:北方有色网
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简介: 目前晶圆代工厂中对晶圆进行标记是人工操作的,而且是靠记忆来确定位置。因而会经常画错地方,甚至会将需要分析的结构弄脏,给后续的失效分析带来麻烦。针对这种情况,本发明提供了一种标记环的结构来节省标记时间并且避免标记错误。
目前晶圆代工厂中对晶圆进行标记是人工操作的,而且是靠记忆来确定位置。因而会经常画错地方,甚至会将需要分析的结构弄脏,给后续的失效分析带来麻烦。针对这种情况,本发明提供了一种标记环的结构来节省标记时间并且避免标记错误。
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标签:失效分析
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