简介： 本发明涉及一种用于金属阻挡层的刻蚀溶液及方法。所述刻蚀溶液由硝酸、氢氟酸和水配制而成，所述硝酸、氢氟酸和水的体积比为硝酸：氢氟酸：水＝0.5～1.5：1：0.5～2，所述硝酸的质量浓度为65%～70%，所述氢氟酸的质量浓度为45%～49%。本发明采用了新配方的刻蚀溶液，可以选择性地去除晶圆的钽、氮化钽、钛或氮化钛的金属阻挡层，然后采用机械研磨的方法，即可去除氧化层，得到均匀的下层金属层，提高了晶圆的平整性，满足晶圆不同层次精细分析的需要，提高了失效分析的能力和效率。