简介： 本发明涉及半导体工艺技术领域，本发明提供了一种扫描电镜样品的保存方法，首先提供样品，并将样品放入SEM设备中进行失效分析，接着在分析后的样品表面涂覆用于隔绝空气的保护层，然后将样品放置在大气环境中进行保存，当需要对样品再次进行失效分析时，去除样品表面的保护层，最后将样品放入SEM设备中进行失效分析。本发明提供了一种可靠易行，成本较低的扫描电镜样品的保存方法，解决了现有技术在失效分析过程中，SEM样品表面容易受损或氧化的问题，本领域技术人员采用该方法可提高失效分析的成功率，并降低失效分析的成本。