简介： 本发明提供了一种制备透射电镜样品的方法，包括：提供待观测芯片，所述待观测芯片包含一待观测区域；对所述待观测芯片的正面和/或背面进行减薄，得到初样；将一空心环固定在所述初样正面，所述待观测区域位于所述空心环内；通过干法刻蚀对所述初样进行减薄，得到透射电镜样品。在本发明提供的制备透射电镜样品的方法中，将一空心环固定在减薄处理后的初样上，通过空心环来确定待观测区域，再通过干法刻蚀所述减薄后的初样，从而制备成适合透射电镜观测的样品，形成超大面积的观测区域，满足相关案例需求，填补失效分析技术空白，提高工作效率。