简介： 本发明涉及一种超薄平面透射电镜样品的制备方法。包括以下步骤：提供具有待观测的失效分析点的芯片；对芯片进行截取得到TEM样品；在TEM样品上靠近失效分析点处形成停止标记，并研磨TEM样品的横截面至停止标记；在TEM样品横截面的失效分析点上镀Pt保护层；在第二薄膜层上靠近失效分析点处挖凹坑，并减薄第二薄膜层；将TEM样品放置在沸腾的胆碱配比溶液中反应；采用聚焦离子束对TEM样品进行切断，得到目标层样品。本发明的一种超薄平面透射电镜样品的制备方法，既可以准确定位样品，又可以得到厚度在十几个纳米的TEM目标层样品，避免了平面透射电镜受到前层多晶硅或者后层多晶硅对待观察区域的干扰，大大提高了失效分析中判断定位的准确性。