简介： 本发明提供一种基于等效电路的晶体管可靠性表征方法，包括以下步骤：S1、根据晶体管类型确定晶体管的等效电路；S2、确定用于寿命加速试验的应力的类型和大小，并确定等效电路中的敏感参数退化模型；S3、对晶体管进行寿命加速测试；S4、定时采集晶体管的测试数据，提取等效电路敏感参数，得到等效电路敏感参数随应力和时间的变化关系；S5、对所述敏感参数退化模型中的待定常数进行拟合，得到完整敏感参数退化模型和完整等效电路；S6、对晶体管进行失效机制分析和可靠性分析。本发明可用于模拟器件失效机制对电路性能的影响，可以分析晶体管的失效机制，指导工艺改进，还可以预测晶体管的性能退化量和失效时间，缩短可靠性试验时间。