简介： 本发明是Si—MOS结构Al2O3湿度传感器，属 于指示环境湿度的元器件。它是在低阻Si衬底上通 过Al蒸发和阳极氧化及热处理制备一层稳定的多 孔α—Al2O3，从而使Al2O3湿度传感器改善或克服 了长期漂移问题，并能同时测量绝对湿度和相对湿 度。本发明的湿度传感器测湿范围宽、灵敏度高、重 复性和稳定性好，可广泛用于工业过程控制、环境湿 度检测、各种高纯气体水含量分析、气密封装电子器 件残留水分监测及电子器件的可靠性和失效机理研 究等。