晶圆测试图的显示方法及系统
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晶圆测试图的显示方法及系统
来源:北方有色网
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简介:
本发明提供一种晶圆测试图的显示方法及系统,包括获取晶圆抽样测试后晶圆上若干芯片的属性文件,接着通过一预设算法对所述属性文件进行修正处理,获取所述晶圆上的若干芯片的修正文件,然后根据所述修正文件生成修正晶圆测试图并进行显示。本发明通过修正晶圆上若干芯片的属性文件,减少晶圆上相邻测试芯片之间的距离,弱化未测试芯片的存在感,以增大测试芯片在设定晶圆测试图显示区域内的显示面积,使已测试的芯片在晶圆测试图中突出显示,便于观察。另外,由于集中显示了测试芯片,便于观测测试芯片中失效芯片的整体分布情况。
本发明提供一种晶圆测试图的显示方法及系统,包括获取晶圆抽样测试后晶圆上若干
芯片
的属性文件,接着通过一预设算法对所述属性文件进行修正处理,获取所述晶圆上的若干芯片的修正文件,然后根据所述修正文件生成修正晶圆测试图并进行显示。本发明通过修正晶圆上若干芯片的属性文件,减少晶圆上相邻测试芯片之间的距离,弱化未测试芯片的存在感,以增大测试芯片在设定晶圆测试图显示区域内的显示面积,使已测试的芯片在晶圆测试图中突出显示,便于观察。另外,由于集中显示了测试芯片,便于观测测试芯片中失效芯片的整体分布情况。
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标签:失效分析
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