简介： 本发明是一种类金刚石薄膜的摩擦、磨损寿命的测试方法，该方法对不同条件下的薄膜寿命进行拟合，结合摩擦磨损失效过程机理，得到磨损寿命与测试载荷、频率以及薄膜厚度的相关关系，建立类金刚石薄膜寿命预测经验模型。当一组数据采用SPSS进行数据拟合时，通常可以选择多种不同的函数关系，在本预测方法中，基于对类金刚石薄膜的摩擦磨损失效机理的研究，幂函数能够很好的模拟类金刚石薄膜摩擦寿命与载荷、速率、厚度、掺杂量的相关关系。通过该拟合方法得到了经验模型能够更加贴合薄膜实际演变规律，预测准确性大幅提高。