简介： 本发明涉及一种晶圆测试参数设置方法，不需要人工设置探针台配置文件。同一产品，得到客户提供的批号、片号、相应目标坐标信息和管芯参数要求后，探针台取得当前机台内的晶圆相应批号、片号和坐标信息，测试机按照输入信息参照目标坐标进行相应管芯的自动测试扫描，并对失效管芯进行周围位置管芯补测，自动测试的同时对失效进行验证和数据补充。保证测试数据的正确性，测试灵活并且适应各种客户要求，避免人工设定造成的误操作，有效地提高测试效率和质量。