简介： 本发明属于半导体器件测试技术领域，公开一种具有保护功能的半导体器件测试装置及方法，半导体器件测试装置包括：测试回路单元，电性连接于被测器件单元形成保护支路；采集保护单元，采集所述被测器件单元的至少一电性能参数信号，所述采集保护单元根据所述电性能参数信号判断所述被测器件单元是否失效，当所述被测器件单元失效时，所述采集保护单元控制所述测试回路单元使得电流从所述被测器件单元换流到所述保护支路。