简介： 本发明属于电子器件监测技术领域，公开了一种功率电子爆炸原位监测方法及装置。本发明通过故障激发模块激发功率电子器件发生爆炸失效，在功率电子器件爆炸失效前后及爆炸失效瞬间，通过电信号监测模块实时监测功率电子器件的电信号，通过气体监测模块实时监测功率电子器件所处试验腔体内部的气体信息，通过高速图像捕捉模块实时捕捉功率电子器件的外部画面，通过高速X射线成像模块实时捕捉功率电子器件的内部画面；通过时序控制模块按预定的时序和时间间隔触发装置中各模块进行工作；通过主控模块控制整个装置，并进行数据采集、存储和显示。本发明能够实现对功率电子器件爆炸失效过程的实时监测。