简介： 本发明提供了一种透射电镜样品的制备方法及观测方法，制备方法包括如下步骤：提供待观测芯片，所述待观测芯片包括失效地址单元；通过电子束在所述失效地址单元上形成第一保护层；在所述待观测芯片上形成一标记，所述标记在所述第一保护层一侧；通过离子束在所述第一保护层和所述标记上形成第二保护层。在本发明提供的透射电镜样品的制备方法及观测方法中，可以通过所述标记标出出失效地址单元的位置，从而对制得的透射电镜样品观测时，能够快速准确的找到失效地址单元，通过两层保护层能够有效的保护失效地址单元不受其它操作的影响，通过离子束形成的第二保护层较通过电子束形成的第一保护层更致密，从而既能够实现对于失效地址单元的有效保护。