晶圆允收测试结构
首页 企业 产品 技术 资讯 图库 视频 需求 会议 活动 产业
晶圆允收测试结构
来源：北方有色网
访问：1031
简介： 本申请公开了一种晶圆允收测试结构，该结构将两套测试图案结合起来，不但能够监控金属互连层失效问题，而且能够监控金属互连层之间的连接孔的失效问题，因此能够更有效、全面地监控金属-氧化物-金属（MOM）器件的失效问题。
本申请公开了一种晶圆允收测试结构，该结构将两套测试图案结合起来，不但能够监控金属互连层失效问题，而且能够监控金属互连层之间的连接孔的失效问题，因此能够更有效、全面地监控金属-氧化物-金属（MOM）器件的失效问题。
0
0
0
0
0
         
标签：失效分析
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
相关技术
评论（0条）
请登录
200/200
牛津仪器科技（上海）有限公司宣传
发布
技术

顶部
北方有色网-互联网服务平台-关于我们
Copyright 2025 China-mcc.com All Rights Reserved
备案号：京ICP备11044340号-3
电信业务经营许可证编号：京B2-20242293
京公网安备 11010702002294号