柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置
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柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及材料测试技术,尤其涉及种柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置,包括有夹持机构、梯度载荷加载机构以及精密检测单元。本发明通过曲柄滑块机构,将滑块直线移动转化为薄膜试件加载梯度载荷,分布梯度的应力应变,原子力显微镜直接观测不同应力应变下薄膜的微观结构变化,从而得到样品的宏观力学性能。本发明可复现薄膜材料受梯度载荷的工况,可原位观测梯度受力下,薄膜不同形变与基底结合力,膜基结合能,在同一测试环境下,比对不同形变,找出膜基结合临界状态,及失效时薄膜形貌变化,测量整个过程中的形变学、变形机制和力学性能,是研究新型薄膜材料在此工况下的弹性模量、内应力和结合能有力试验工具。
本发明涉及材料测试技术,尤其涉及种柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置,包括有夹持机构、梯度载荷加载机构以及精密检测单元。本发明通过曲柄滑块机构,将滑块直线移动转化为薄膜试件加载梯度载荷,分布梯度的应力应变,原子力显微镜直接观测不同应力应变下薄膜的微观结构变化,从而得到样品的宏观力学性能。本发明可复现薄膜材料受梯度载荷的工况,可原位观测梯度受力下,薄膜不同形变与基底结合力,膜基结合能,在同一测试环境下,比对不同形变,找出膜基结合临界状态,及失效时薄膜形貌变化,测量整个过程中的形变学、变形机制和力学性能,是研究新型薄膜材料在此工况下的弹性模量、内应力和结合能有力试验工具。
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