简介： 本实用新型公开了一种效能侦测装置，包括速率侦测装置和位移侦测装置，速率侦测装置包括速率传感器和发光二极管，位移侦测装置包括第一位移传感器和第二位移传感器；速率侦测装置位于固定盘和抛光垫整修器的侧面，并对准抛光垫整修器；位移侦测装置位于固定盘的上方，并对准固定盘和抛光垫。本实用新型的优点和有益效果在于：实现了及时发现抛光垫整修器及整修装备的故障或失效，减少抛光垫整修器作虚功，提高生产效率的效果；以及起到了精确掌控抛光垫整修器运转情况及效能，和提早侦错并及时发现问题及了解效能衰退幅度，减少停机检查维修的频率，提高生产效率的作用。