简介： 本实用新型公开了进气测温装置，属于半导体技术领域。它包括纯化罐本体，所述纯化罐本体的底部连通有进气管，所述纯化罐本体侧壁上设有测温管。本实用新型当源气通过进气管进入纯化罐本体内部，经过纯化罐本体纯化后，从出气口排出，当源气指标偏高时，首先带来纯化罐本体与进气管的连通处中心温度升高，此时将测温管伸入纯化罐本体与进气管相连通的连通处中心位置，再在测量管内插入热电偶本体，并且时热电偶本体测量端位于纯化罐本体与进气管的连通处中心，再利用热电偶本体对纯化罐本体与进气管的连通处中心进行温度的测量，当纯化罐本体与进气管的连通处温度升高时，可快速检测到温度变化，再采取一些安全措施，避免造成整个纯化器失效。