简介:
本申请提供了一种测试结构,该测试结构不包括开关,该测试结构包括:待测试结构,包括多个依次串联的待测试器件组,各待测试器件组包括多个并联的待测试的阻变器件;两个测试电极,分别为第一测试电极和第二测试电极,第一测试电极与待测试结构的一端电连接,第二测试电极与待测试结构的另一端电连接,从而同时检查多个待测试的阻变器件,提高了测试效率,并且测试结构不包括开关,降低了测试成本,并且一个待测试的阻变器件失效会导致待测试结构的阻值大幅降低,使得测试结构对机台精度要求低,进而解决了现有技术中的测试MTJ的方法难以同时达到测试效率高、测试成本较低且对机台精度要求低的问题。
本申请提供了一种测试结构,该测试结构不包括开关,该测试结构包括:待测试结构,包括多个依次串联的待测试器件组,各待测试器件组包括多个并联的待测试的阻变器件;两个测试电极,分别为第一测试电极和第二测试电极,第一测试电极与待测试结构的一端电连接,第二测试电极与待测试结构的另一端电连接,从而同时检查多个待测试的阻变器件,提高了测试效率,并且测试结构不包括开关,降低了测试成本,并且一个待测试的阻变器件失效会导致待测试结构的阻值大幅降低,使得测试结构对机台精度要求低,进而解决了现有技术中的测试MTJ的方法难以同时达到测试效率高、测试成本较低且对机台精度要求低的问题。