用于测试集成电路的探针卡
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用于测试集成电路的探针卡
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种用于测试集成电路的探针卡,包括探针座和检测电路板,所述探针上成型有止挡部,止挡部的下端抵靠在一弹性袋壳上,所述弹性袋壳中填充有气体,弹性袋壳上成型有出气口,所述出气口上铰接有密封门,密封门一侧的探针孔侧壁上成型有通气槽,通气槽的侧壁上设有气推活塞块,所述气推活塞块将通气槽分隔为通气区和复位区,所述复位区内设有复位弹簧,所述复位弹簧的一端压靠在气推活塞块上、另一端压靠在通气槽的端部内侧壁上;所述探针孔内插接有竖直的导电片,所述导电片的上端活动连接在止挡部上、下端连接在检测电路板上。本发明结构简单,制造及组装方便,同时能避免传统探针卡内弹簧机械疲劳失效而造成接触不良。
本发明公开了一种用于测试集成电路的探针卡,包括探针座和检测电路板,所述探针上成型有止挡部,止挡部的下端抵靠在一弹性袋壳上,所述弹性袋壳中填充有气体,弹性袋壳上成型有出气口,所述出气口上铰接有密封门,密封门一侧的探针孔侧壁上成型有通气槽,通气槽的侧壁上设有气推活塞块,所述气推活塞块将通气槽分隔为通气区和复位区,所述复位区内设有复位弹簧,所述复位弹簧的一端压靠在气推活塞块上、另一端压靠在通气槽的端部内侧壁上;所述探针孔内插接有竖直的导电片,所述导电片的上端活动连接在止挡部上、下端连接在检测电路板上。本发明结构简单,制造及组装方便,同时能避免传统探针卡内弹簧机械疲劳失效而造成接触不良。
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