简介： 本发明公开了一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，包括：真空腔体；安装于真空腔体内的传动辊单元，传动辊单元具有传动辊和延伸于真空腔体外的输入端；传动连接传动辊单元输入端的驱动装置；监测装置，监测装置具有安装于真空腔体两侧的监测单元，两个监测单元之间于真空腔体内形成一检测路径；对应监测单元安装于传动辊上的被监测零件，被监测零件在转动过程中可遮挡和避开监测单元的检测路径。本发明能够实现在线直接监测传动链终端零件——传动辊的工作状态，同时不降低传动辊的力学性能，及时给出具体传动辊单元失效的报警信号，确保设备及时采取应对措施，避免故障造成更大损失。