简介： 本发明提供一种氧化膜硅基产品磷含量的测试方法，包括使用二次质谱仪检测一级标样的离子强度，计算出RSF值，利用RSF值计算出二级标样的磷元素浓度，与已知二级标样的磷元素浓度对比，在标准范围内则利用此RSF值计算待测样片和区熔样片的磷元素浓度，检测区熔样片和待测样片的离子强度计算出磷元素浓度，用待测样片的临时磷元素浓度减去区熔样片磷元素浓度得到最终待测样片的磷元素浓度。本发明的有益效果是有效的解决磷含量过高会导致整个产品失效；利用现有检测技术测试出来的元素浓度存在不确定性，不能去除背景环境对磷元素含量的影响以及不能确定RSF值是否正确的问题。