简介： 一种集成电路测试方法、装置和系统,在共用基底上包含有复数个被测单元和复数个被测单元运行结果比较装置,不同被测单元执行同一输入激励,各自产生运行结果,运行结果由相应运行结果比较装置比较,产生比较特征,根据特征检测出失效被测单元。本发明能降低测试成本,缩短形成规模量产时间,降低漏测率。