测试结构
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测试结构
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简介: 本申请实施例提供了一种测试结构,可以包括第一金属线、第二金属线,以及第一金属线和第二金属线之间的介质层,第一金属线用于连接第一电压,第二金属线用于连接第二电压,其中,第一金属线通过连接入一个电编程熔丝来连接第一电压,和/或,第二金属线通过连接入一个电编程熔丝来连接第二电压。第一电编程熔丝和第二电编程熔丝在正常工作时电阻较小,但是在介质层击穿之后整个电路回路中产生较大的电流,此时第一金属接入的电编程熔丝和/或第二金属接入的电编程熔丝的电阻骤然变大,此时的电编程熔丝由于大电阻起到分压/降电流作用,抑制了电介质击穿处的电流而减弱击穿损伤,利于后期对击穿位置的物理失效分析。
本申请实施例提供了一种测试结构,可以包括第一金属线、第二金属线,以及第一金属线和第二金属线之间的介质层,第一金属线用于连接第一电压,第二金属线用于连接第二电压,其中,第一金属线通过连接入一个电编程熔丝来连接第一电压,和/或,第二金属线通过连接入一个电编程熔丝来连接第二电压。第一电编程熔丝和第二电编程熔丝在正常工作时电阻较小,但是在介质层击穿之后整个电路回路中产生较大的电流,此时第一金属接入的电编程熔丝和/或第二金属接入的电编程熔丝的电阻骤然变大,此时的电编程熔丝由于大电阻起到分压/降电流作用,抑制了电介质击穿处的电流而减弱击穿损伤,利于后期对击穿位置的物理失效分析。
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标签:失效分析
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