集成电路成品测试有效性的监控方法
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集成电路成品测试有效性的监控方法
来源:北方有色网
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简介:
本发明提供了一种集成电路成品测试有效性的监控方法,采取优化的日志结构记录成品测试的唯一识别码与对应的成品测试结果,利用唯一识别码与对应的成品测试结果还原出成品测试产出的晶圆MAP平面图,通过向上溯到晶圆测试时的数据,可保证成品测试结果的有效性,还可以还原出失效芯片位置分布,该监控方法能够用于跟踪减划、封装过程等工艺的相关性分析。
本发明提供了一种集成电路成品测试有效性的监控方法,采取优化的日志结构记录成品测试的唯一识别码与对应的成品测试结果,利用唯一识别码与对应的成品测试结果还原出成品测试产出的晶圆MAP平面图,通过向上溯到晶圆测试时的数据,可保证成品测试结果的有效性,还可以还原出失效
芯片
位置分布,该监控方法能够用于跟踪减划、封装过程等工艺的相关性分析。
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标签:失效分析
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