简介： 本发明公开了一种利用高温纳米压痕仪测量高温氧化膜内应力的方法。本发明利用高温纳米压痕仪，对被测试件的表面做压痕，逐段升温，同时利用高温探针扫描，在线、原位地直接记录分析被测试件的表面从平坦到粗糙起伏的转变过程，同时根据表面形貌演化图像，利用应力‑表面形貌演化理论，能够直接计算获得微纳米尺度的表面氧化过程中氧化膜内部的应力，且相对于常规的光测方法而言，该方法步骤简单、易于操作，能够为材料的氧化膜生长及失效性能提供直接有效的参数评估。