简介： 本发明涉及微纳器件测试技术领域，公开了一种性能测试方法，包括在不同的温度环境下对待测样品进行测试，获取待测样品的谐振频率温度系数；将待测样品固定于红外成像设备上，将红外成像设备加热至预设温度；向待测样品施加预设输入功率，使用红外成像设备对待测样品进行成像测试，获取待测样品在预设输入功率条件下的表面温度场信息；保持待测样品上施加的预设输入功率不变的情况下，测试获取待测样品的特征频率；根据谐振频率温度系数和特征频率，计算获取待测样品在预设输入功率条件下的等效温升。通过获取在预设功率负载下待测样品的表面温度场信息以及等效温升值，为相关产品的设计、可靠性评价及分析、失效机理建模等工作提供可靠的支撑。