简介： 本发明公开了一种数字坐标轴，由硅衬底上的栅氧化膜上的多晶硅图案组成且位于测试结构的周围，测试结构和数字坐标轴制作在同一层光罩中。数字坐标轴包括水平数字坐标轴和垂直数字坐标轴，水平数字坐标轴和垂直数字坐标轴的长度分别大于测试结构的长度和宽带、满足能够对测试结构的所有点进行定位。本发明还公开了一种栅氧化膜可靠性测试方法，包步骤：形成数字坐标轴、对测试结构进行EMMI测试并用数字坐标轴记录发光点位置、进行FIB测试。本发明数字坐标轴能够为测试结构提供精确的坐标，能为栅氧化膜可靠性测试方法中的发光点进行精确定位并提供数字化坐标，能为FIB切割定位提供准确位置，能提高失效分析的成功率。