简介： 本发明公开了一种基于脉冲光探测磁共振的电磁场近场成像系统和方法，该系统由激光泵浦光路、微波源、金刚石NV色心探头、CCD相机单元、同步系统、位移扫描平台、控制软件及数据分析成像系统所构成。该系统采用含有NV色心的金刚石大块单晶做探测单元，并采用静磁场将金刚石NV色心的磁共振峰劈开成8个峰，8个共振峰对应于金刚石晶格结构四个晶轴方向<111>,<1‑11>,<‑111>和<11‑1>，通过测量每个共振峰的拉比频率，获得垂直于该晶轴方向的圆偏振微波场强度，通过对四个方向的微波场强度进行综合计算，再构出微波矢量的强度和方向。通过对被测量微波芯片的局部区域微波近场高分辨成像，可以为芯片失效分析提供定量的数据。