简介： 本发明公开了一种复杂工况下MEMS惯性器件可靠性评测方法，包括：确定复杂工况下MEMS惯性器件的失效模式与失效机理；根据MEMS器件的材料、结构、工艺等本构特性以及器件在复杂工况下的失效机制及两者的关联性分析，确定MEMS惯性器件在各敏感应力下的可靠性评价模型；根据确定的可靠性评价模型及加速因子，设计确定评价MEMS惯性传感器在复杂工况下可靠性评估方法；设计形成适应多复杂工况的加速评价试验方法。本发明从MEMS惯性器件中材料‑工艺‑结构的失效模式、失效机理出发，构建关键结构相关失效物理模型，并引入环境载荷因子，最终建立MEMS惯性器件在复杂工况下的可靠性加速模型，可快速评价器件可靠性。