简介： 本发明公开了一种利用EDAX能谱仪测量轻元素SEC因子数据表的方法，本发明的步骤如下：（1）将某标样的已知某轻元素含量作为标准值，对某标样划分不同的测量区域，选定在EDAX能谱仪的不同加速电压，在每种加速电压下重复下述操作：在每一测量区域中，改变所述EDAX能谱仪的定量分析程序中的SEC因子，找出使测得的所述某轻元素含量与标准值相同的SEC因子，将找出的SEC因子取算数平均值，得到所述某轻元素在不同加速电压下的SEC因子数据表；（2）对所述某标样中的其它轻元素重复步骤（1），得到某标样中不同轻元素所对应的SEC因子数据表。本发明的有益效果是提高能谱仪对轻元素定量分析的准确性，为材质鉴别、材料研究、失效分析等工作提供有力的技术支持。