简介： 本申请提供了一种电迁移测试结构、半导体结构及三维存储器。其中，电迁移测试结构包括测试线和衬底。测试线连接有阳极引线和阴极引线；衬底与阴极引线连接，衬底配置为通过阴极引线接收测试线中的静电荷。本申请通过将阴极引线接入衬底，从而使衬底能够通过阴极引线接收测试线中的静电荷，因此，在测试过程中以及在后续失效分析过程中即使引入了静电，这部分静电也可通过阴极引线导出至衬底中，以此减小测试和失效分析过程中测试线发生爆燃的可能性。