简介： 本发明公开了基于EMMI的化合物半导体器件直流测试系统，包括测试夹具、源极直流电源、栅极直流电源、漏极直流电源和EMMI平台；化合物半导体器件装配在测试夹具中，EMMI平台采集化合物半导体器件在不加电情况下的背景噪声信号；然后采用源极、栅极和漏极直流电源通过测试夹具使得化合物半导体器件处于不同工作状态，同时EMMI平台采集化合物半导体器件的光信号，并扣除背景噪声信号，生成化合物半导体器件在工作状态下的EMMI分析图，并分析化合物半导体器件是否失效，根据EMMI分析图对失效的化合物半导体器件失效部位定位。本发明创新性的将器件的直流工作状态与电致发光原理相结合，实现化合物半导体器件的测试。