简介： 本发明涉及一种纳米探针及纳米探针测试仪，包括针臂，所述针臂的一端用于连接测试仪，另一端设置有用于同时与待失效分析半导体器件同一极性两个以上钨栓接触的触头。在待失效分析半导体器件电学特性测试中，此纳米探针可同时接触待失效分析半导体器件同一极性多个钨栓，用多个钨栓共同对应的电学特性表征待失效分析半导体器件的实际电学特性，能够有效避免个别纳米探针触头与钨栓接触不良，或个别钨栓下没有硅化物等因素导致的测试误差，从而更精准的反映待失效分析半导体器件的实际电学特性。