半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法
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半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法
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简介: 本发明涉及一种半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法,通过将信号发生设备与待测半导体电路的第一类输入引脚连接,且将检测控制设备与待测半导体电路的第一类输出引脚连接,对待测半导体电路进行IO端口测试;在待测半导体电路的IO测试数据满足预设测试条件之后,将信号发生设备与待测半导体电路的第二类输入引脚,检测控制设备与待测半导体电路的第二类输出引脚连接,对待测半导体电路的功能测试。通过先进行IO端口测试,即采用小电流、低电压测试初步筛选出异常样品,并保留样品失效原始形貌;再进行功能端口测试,即采用大电流、高电压测试半导体电路,从而能够避免功能测试时将异常样品二次破坏,防止功能测试过程损坏后的无法拦截。
本发明涉及一种半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法,通过将信号发生设备与待测半导体电路的第一类输入引脚连接,且将检测控制设备与待测半导体电路的第一类输出引脚连接,对待测半导体电路进行IO端口测试;在待测半导体电路的IO测试数据满足预设测试条件之后,将信号发生设备与待测半导体电路的第二类输入引脚,检测控制设备与待测半导体电路的第二类输出引脚连接,对待测半导体电路的功能测试。通过先进行IO端口测试,即采用小电流、低电压测试初步筛选出异常样品,并保留样品失效原始形貌;再进行功能端口测试,即采用大电流、高电压测试半导体电路,从而能够避免功能测试时将异常样品二次破坏,防止功能测试过程损坏后的无法拦截。
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