简介： 本实用新型涉及一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台,其包含有腔体,安装于所述腔体内顶部的离子源,安装于所述腔体内侧壁的电子侦测器,光学摄像头以及样品座;所述离子源发射离子束至放置于样品座上的样品表面,所述电子侦测器接收样品表面受到离子束轰击而激发出的电子成像,所述光学摄像头安装于腔体的内侧壁电子侦测器旁,拍摄所述样品的光学成像;本实用新型可以减少定位加速工程时间,同时可配合光学与电子显微检查来达到查找失效点的目的。