一种柔性fNIRS检测器件,包括第一柔性材料层和设置于第一柔性材料层上的柔性电路,第二柔性材料层包裹于柔性电路上;所述柔性电路上设有元器件,元器件通过光刻键合设置于柔性电路上;与现有技术相比,通过采用柔性材质的检测器件,可以适应即使婴幼儿头部较小的弯曲半径,轻、薄使人们在佩戴时无异物感,较低的弹性模量可以与皮肤共形贴合,最大程度地发挥光源和探测器的性能。对
芯片进行减薄,可以使芯片与皮肤贴合时具有更小的间隙,同时采用光刻的方法代替传统的金丝键合,避免了金丝键合后在与皮肤的接触中容易失效的问题。