薄膜封装Test key的制作方法和检测方法
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薄膜封装Test key的制作方法和检测方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种薄膜封装Test key的制作方法和检测方法,S1:在玻璃基板上制备TFT驱动器,在制备TFT驱动器时,玻璃基板边缘中的衬底层与TFT驱动器中的SiNx层在同一层,即在制备TFT驱动器时,沉积在玻璃基板边缘的SiNx层形成衬底层,再在TFT驱动器制备像素定义层,像素定义层经过曝光显影蚀刻脱膜形成图案,然后再在像素定义层的开口处溅射一层阳极;S2:在步骤S1的基础上制备OLED发光器件,然后再在OLED发光器件上制备阴极,其中阴极包含Mg阴极和Ag阴极;S3:在步骤S2的基础之上沉积薄膜封装层。本发明可以高效和快速地检测出薄膜封装的OLED显示器是否失效,以及水氧侵蚀的程度,为后续维修和使用提供一个方向,并且在器件的开发方面具有重要意义。
本发明公开了一种薄膜封装Test key的制作方法和检测方法,S1:在玻璃基板上制备TFT驱动器,在制备TFT驱动器时,玻璃基板边缘中的衬底层与TFT驱动器中的SiNx层在同一层,即在制备TFT驱动器时,沉积在玻璃基板边缘的SiNx层形成衬底层,再在TFT驱动器制备像素定义层,像素定义层经过曝光显影蚀刻脱膜形成图案,然后再在像素定义层的开口处溅射一层阳极;S2:在步骤S1的基础上制备OLED发光器件,然后再在OLED发光器件上制备阴极,其中阴极包含Mg阴极和Ag阴极;S3:在步骤S2的基础之上沉积薄膜封装层。本发明可以高效和快速地检测出薄膜封装的OLED显示器是否失效,以及水氧侵蚀的程度,为后续维修和使用提供一个方向,并且在器件的开发方面具有重要意义。
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