简介： 本申请实施例提供一种光电薄膜器件的特性检测方法，在对待测光电薄膜器件进行制样处理，得到切片样品的基础上，配置导电探针，以及与导电探针连接的开尔文探针力显微镜。利用开尔文探针力显微镜通过导电探针采集切片样品的参数分布数据信息。利用该特性检测方法，可得到数值化的参数分布数据信息，实现更为细微化的检测，提高检测的全面性，为后续待测光电薄膜器件的失效判断提供数据依据。