简介： 公开了基于长短期记忆网络和滑动窗口的晶圆测试检测方法，方法中，测试头执行晶圆测试生成测试数据，所述测试数据输入长短期记忆网络训练且生成测试时间序列及其时序特征；基于所述测试时间序列确定窗口长度k以及定义窗口长度k的最近邻窗口，将测试时间序列输入训练后的长短期记忆网络得到预测值d′n+1，将预测值d′n+1与真实测量值比较得到差值，当差值超过单步阈值a判断单步失效，增加系统异常评分且将所述预测值d′n+1更新测试时间序列进行下一步检测，直到所述系统异常评分超过系统异常阈值x时判断测试环境有误；发出指令停止测试并报警，并将故障信息通过TCP/IP协议上传。