简介： 本发明涉及集成电路技术领域，尤其是涉及到一种用于缺陷分类的光学检测方法，通过设定一合适的缺陷检测设备的缺陷检测灵敏度，并调用该光学缺陷检测设备对灰阶化以及标识后的栅极、有源区和氧化层隔离区进行缺陷检测，并根据缺陷位于不同程度的灰阶判断缺陷在静态存储器的上对应的位置同时进行分类，因此，在线的光学缺陷检测能够根据缺陷在静态存储器的上面的位置进行准确全面的分类，从而可以对器件的失效模式的研究和缺陷的成因分析带了极大的便利。