简介： 本实用新型提供了一种彩色显像管残余气体分析设备,它包括抽气装置、质谱分析装置和取样装置。抽气装置包括顺序相连的机械泵、吸附阱和分子泵,分子泵的进口端分别通过管路与质谱分析装置和取样装置连通。质谱分析装置包括四极质谱计、超高真空电离规、溅散离子泵和质谱分析室,四极质谱计、超高真空电离规和溅散离子泵分别通过管路与质谱分析室连通,质谱分析室还通过管路分别与抽气装置的分子泵和取样装置连通。取样装置为取样管道。利用本分析设备能分析出彩色显像管内的残余气体成分及其分压力,还能在较短时间内测量出彩色显像管的扫屏放气性能,用其判定彩色显像管的内在真空质量,进而判定或比较制屏工艺与材料包括排气工艺与设备的优劣,预估因真空因素导致失效的整管寿命水平,具有实际应用价值。