简介： 本发明公开了一种存储器电路接触孔层次失效点定位方法,是针对无微探针设备的机台，先使用聚焦离子束进行线路修复，将浮空状态的电极短接至附近具有稳定电位的节点，再进行电压衬度分析。本发明所述的方法，使用聚焦离子束将浮空的电极短接至附近稳定电位节点，在电压衬度进行电子束轰击时，浮空电极上积累的电荷能被及时导走，使浮空电极极始终保持稳定的状态，消除其对电压衬度分析时的干扰。