失效图形的获取方法和获取装置
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失效图形的获取方法和获取装置
来源:北方有色网
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简介: 一种失效图形的获取方法和获取装置,其中失效图形的获取方法,包括:包括:获得一晶圆内的芯片测试结果图像,所述芯片测试结果图像中标记有若干失效测试点;计算所有失效测试点间每两点的向量;将具有相同向量的若干失效测试点定为同一群体;从每一个群体中分出若干种待定失效图形;基于所述若干种待定失效图形获得失效图形。通过前述步骤可以准确和快速的获得失效图形,所述失效图形用于判断测试机台是否存在问题,如果获得了失效图形,则可判断所述测试机台的测试环境存在问题,从而测试人员可以对测试机台的测试环境(比如对测试程序进行修改)进行调整,从而防止测试机台误检测的发生,提高电学测试的准确性。
一种失效图形的获取方法和获取装置,其中失效图形的获取方法,包括:包括:获得一晶圆内的芯片测试结果图像,所述芯片测试结果图像中标记有若干失效测试点;计算所有失效测试点间每两点的向量;将具有相同向量的若干失效测试点定为同一群体;从每一个群体中分出若干种待定失效图形;基于所述若干种待定失效图形获得失效图形。通过前述步骤可以准确和快速的获得失效图形,所述失效图形用于判断测试机台是否存在问题,如果获得了失效图形,则可判断所述测试机台的测试环境存在问题,从而测试人员可以对测试机台的测试环境(比如对测试程序进行修改)进行调整,从而防止测试机台误检测的发生,提高电学测试的准确性。
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标签:失效分析
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