简介： 本发明一种制备特定失效点透射电子显微镜平面样品的方法，采用聚焦离子束截取样品上失效位置附近一块样品，通过Pick-Up系统将截取的样品吸起并竖直放立在硅片表面，用聚焦离子束镀金的方法将样品固定在硅片表面后制备成透射显微镜平面样品。本发明通过聚焦离子束精确截取样品，省去了人工研磨的过程，大大提高了样品制备的成功率和样品的质量，对后续的失效分析和结构分析提供了极大的帮助。